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  • 產品詳情

    CVD氣相沉積爐

    發布時間:2015-01-13
    產品分類:沉積爐
      化學氣相沉積爐應用領域
      化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
      化學氣相沉積爐主要配置
      爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
      爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
      爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
      加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
      工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
      真空泵和真空計---進口/國產
      PLC:歐姆龍/西門子
      控溫儀表:日本島電/英國歐陸
      熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
      記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
      人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
      電器元件:正泰/施耐德/西門子
      料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
      化學氣相沉積爐技術特征
      本化學氣相沉積爐較大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
      本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
      本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
      本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
      本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
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